تحقیق آنالیز پراكندگي بازگشتي رادرفورد RBS

تحقیق آنالیز پراكندگي بازگشتي رادرفورد RBS

آنالیز پراكندگي بازگشتي رادرفورد RBS چکیده مقاله اين روش رايج مشخصه‌سازي لايه‌هاي نازك، با استفاده از پرتوهاي يوني سبک و پرانرژي ( چند صد مگا الكترون ولت) انجام مي‌شود. چنين پرتوهايي مي‌توانند هزاران آنگسترم يا حتي چند ميكرون به عمق لايه و يا تركيب